认证红外固化灯制造厂

在晶圆厂车间，你清楚地知道光刻胶烘烤过程中1°C的偏差会带来什么影响——线宽能够发生足以报废大量产品的变化。你需要的是能精确达到设定温度的加热，且能在指定的位置和时间稳定执行，每班次保持一致。 核心要点 我们采用经过认证的红外固化灯，提供近红外能量，确保光刻区域内晶圆热均匀性达到±0.1°C的水平...