用于晶圆红外领域的保形涂层

在300毫米生产线中，如果晶圆表面的温度出现0.3°C的波动，就可能导致关键尺寸发生变化。一次意外停机就足以让整个月的温度控制目标付诸东流。对于晶圆来说，红外防护涂层并非可有可无的配件，它实际上是一种“热稳定装置”，能够确保光刻和光阻处理过程的稳定性，从而保证产品质量的稳定性。 我们如何实现这一目...