标签为“热电偶”的页面如下 用于半导体加热器的热电偶 为何镀金反射器对晶圆加热如此重要 在加热晶圆时,实际上就是在与能量浪费作斗争。通常情况下,大部分辐射热会泄漏到腔室壁上,这不仅浪费了能源,还增加了工作的难度。 这时,镀金反射器便派上用场了。 关键在于反射功能。 黄金具有出色的反射红外线的能力。它不会让热量散失掉,而是将光子重新导向目标位置。可以说... Read more...
用于半导体加热器的热电偶 为何镀金反射器对晶圆加热如此重要 在加热晶圆时,实际上就是在与能量浪费作斗争。通常情况下,大部分辐射热会泄漏到腔室壁上,这不仅浪费了能源,还增加了工作的难度。 这时,镀金反射器便派上用场了。 关键在于反射功能。 黄金具有出色的反射红外线的能力。它不会让热量散失掉,而是将光子重新导向目标位置。可以说... Read more...