手套箱红外加热元件
别再加热手套箱的墙壁了 任何使用过半导体手套箱的人都知道其中的麻烦。虽然需要给手套箱内部加热,但又不希望其外壁也变成一个巨大的热源。
如果使用普通的对流式加热器,那么所有的空气都会被加热,这些热量会影响到箱子的各个部位——包括外壳、密封装置以及操作人员的手臂。这样不仅效率低下,还会造成一些问题,比...
LPCVD炉加热元件
在制造车间里,你知道,一次看似顺利的加工过程,很快就可能变成一堆废品。LPCVD炉内的温度只要偏离0.3°C,就可能导致薄膜的厚度不符合标准。当加热元件的性能下降时,系统的温度均匀性就会受到影响,进而影响掺杂和沉积过程的稳定性,最终导致光刻工艺出现问题。光刻胶的软烘和硬烘条件也会变得更加严格,CD...
牛津仪器加热元件
在光刻车间,烘烤步骤不仅仅是一个暂停——它是你遵循的公差。软烘烤和硬烘烤温度的漂移,突然间在刻蚀发生之前,你的关键尺寸控制就消失了。当热均匀性不佳时,你不仅失去产量,还会影响进度。 真正重要的是什么 我们围绕受控红外能量构建了Oxford Instruments加热元件,调节到晶圆本身对热量的响应...