서론 상상해 보세요. 공기 중에는 가연성 세척 화학물질이 가득한 웨이퍼 처리 라인입니다. 이러한 환경에서는 일반적인 가열 요소들이 즉시 고장나버립니다. 우리는 바로 이러한 극한의 환경을 위해 적외선 가열램프를 개발했습니다. 열원을 특수한 캡슐화 시스템으로 감싸서, 열...

리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 소프트 베이크할 때 1°C 정도의 온도 변동만으로도 공정이 제대로 진행되지 않는다는 것을 금방 알게 됩니다. 이러한 온도 변동은 회로선의 선폭에 영향을 주어 최종 제품의 품질을 크게 저하시킬 수 있습니다. 또한, 웨이퍼가 완전히...