글로브박스의 벽면을 가열하지 마세요. 반도체 제조에 사용되는 글로브박스를 다룬 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 내부를 가열해야 하지만, 외벽이 마치 거대한 히터처럼 되어서는 안 됩니다. 일반적인 대류식 히터를 사용하면 공기 전체가 가열됩니다. 그러면 그 공기...

생산 현장에서는, 순조로운 공정도 얼마나 빨리 실패로 이어질 수 있는지 알 수 있습니다. LPCVD 용광로의 온도가 0.3°C만 변해도, 원하는 적층 두께를 달성하기 어려워집니다. 가열 요소의 성능이 저하되면 열 균일성이 떨어지고, 도핑 및 증착 과정도 제대로 이루어...