왜 금 코팅된 반사체가 웨이퍼에 있어서 그토록 중요한지 반도체 제조 과정에서 열 손실은 큰 문제입니다. 열 손실로 인해 생산 효율이 떨어집니다. 실리콘 웨이퍼의 온도를 정확하게 조절하려 할 때, 적외선 에너지가 장비 내부로 새어 나가는 것을 막는 것이 가장 중요합니다...

생산 현장에서는 상황이 얼마나 빨리 악화될 수 있는지 아시죠. 베이킹 온도가 반도 정도만 변해도 포토레지스트의 특성이 규격에서 벗어나게 됩니다. 그러면 생산 공정이 멈추게 됩니다. 우리는 열적 특성을 일정하게 유지하기 위해 적외선 램프 소켓을 특별히 설계했습니다. 중...