수소 센서 제작용 히터
수소 센서 히터가 제대로 작동하는지 확인하는 방법
수소 센서를 제작할 때는 “충분하다”고 생각해서는 안 됩니다. 실수의 여지가 전혀 없습니다. 만약 장비에 절연 파괴가 발생한다면, 단순히 하나의 부품이 고장나는 것에 그치지 않고, 전체 생산 라인이 위험해질 수 있습니...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 웨이퍼를 건조할 때 안전을 유지하는 방법
솔직히 말해서, 고강도 적외선 램프를 가연성 용매와 가까이 두는 것은 재앙을 부르는 행위입니다. 화학적 세정 후에 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 열이 필요하지만, 클린룸에서 화재가 발생하는 것은 절대 원치 않습니...
스마트 센서 포장 적외선
왜 반도체 패키징에 적외선 가열을 사용하는가?
에폭시를 경화시키거나 칩들을 접합할 때는 끊임없이 열 문제와 싸워야 합니다. 잘못하면 기판이 변형될 수 있습니다. 정말 골칫거리죠.
오랫동안 우리는 모든 것을 대형 대류 오븐을 사용해 처리해왔습니다. 하지만 문제는, 아주...
웨이퍼 처리 장비용 온도 센서
왜 금 코팅된 반사체가 웨이퍼에 있어서 그토록 중요한지 반도체 제조 과정에서 열 손실은 큰 문제입니다. 열 손실로 인해 생산 효율이 떨어집니다. 실리콘 웨이퍼의 온도를 정확하게 조절하려 할 때, 적외선 에너지가 장비 내부로 새어 나가는 것을 막는 것이 가장 중요합니다...
웨이퍼용 고정밀 IR 센서
서론
상상해 보세요. 공기 중에는 가연성 세척 화학물질이 가득한 웨이퍼 처리 라인입니다. 이러한 환경에서는 일반적인 가열 요소들이 즉시 고장나버립니다.
우리는 바로 이러한 극한의 환경을 위해 적외선 가열램프를 개발했습니다. 열원을 특수한 캡슐화 시스템으로 감싸서, 열...
생체 센서 제작용 적외선 램프
생체센서 웨이퍼를 제조할 때는 열 제어를 매우 철저하게 해야 합니다. 왜냐하면 포토레지스트는 약간의 온도 변화도 용납하지 않기 때문입니다. 핵심 치수가 점점 더 작아짐에 따라, 몇 도만큼의 오차가 있어도 선의 굵기가 기준치를 벗어나게 되고, 그 결과 폐기물이 발생합니...