반도체 히터 공급업체

팹 현장에서는 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 0.5도 정도의 온도 변동만으로도 생산성이 크게 저하될 수 있습니다. 웨이퍼는 엄격한 열 제어 조건을 요구하며, 히터는 반복적인 가열 과정에서도 입자가 발생하지 않도록 일관된 열을 공급해야 합니다. 기술적으로 중요한 점...