캐비닛을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열하세요.
일반적인 저항식 히터를 사용해본 적이 있다면 그 번거로움을 잘 알 것입니다. 이러한 히터들은 열을 사방으로 낭비하죠. 에너지가 제대로 전달되지 않고, 캐비닛의 내부 벽면이 모든 열을 흡수하게 됩니다. 결국 캐비닛의 벽면이 매우 뜨거워집니다. 이로 인해 섬세한 전자 부품들이 손상될 수 있으며, 장비를 만지는 사람들에게도 큰 고통이 됩니다. 아무도 자신을 다치게 하는 기계를 좋아하지 않습니다.
방향성 가열의 원리
이 문제를 해결하기 위해 단파 적외선 램프를 사용합니다. 이는 스페이스 히터와는 달리, 마치 손전등과 비슷합니다. 에너지는 직선으로 전달되므로 주변 공기를 데우는 데 시간을 낭비하지 않습니다. 초점 거리를 조절하고 반사 장치를 추가함으로써, 열을 웨이퍼 표면에 직접 전달할 수 있습니다. 그 결과, 캐비닛의 외부는 여전히 시원하게 유지됩니다.
전력, 정밀도, 그리고 주의사항
이러한 고출력 램프들은 매우 강력합니다. 온도를 빠르게 높여야 하는 경우에 매우 유용합니다. 보통 PID 컨트롤러와 함께 사용하여 목표 온도를 넘어서지 않도록 합니다. 하지만 단순히 전력을 높이는 것만으로는 안 됩니다. 만약 충분한 차폐 장치가 없다면, 열이 여전히 캐비닛 안으로 들어올 수 있습니다. 금도금된 알루미늄 재질의 차폐 장치가 가장 효과적입니다. 이 장치들은 열을 웨이퍼 쪽으로 다시 반사시킵니다.
단점들
물론 방향성 가열도 완벽한 해결책은 아닙니다. 근처에서는 열이 강하지만, 멀어질수록 열의 강도가 급격히 줄어듭니다. 웨이퍼가 정확한 위치에 있지 않으면, 특정 부분이 차가워질 수 있습니다. 따라서 전체 표면의 온도를 균일하게 유지하기 위해서는 Z축의 정밀도가 매우 중요합니다. 마지막으로, 이러한 램프들은 매우 뜨거워집니다. 만약 냉각 팬이 고장나면, 램프는 몇 분 안에 파손될 수 있습니다. 그러니 공기 흐름이 멈추는 순간 즉시 전력을 차단할 수 있는 장치를 반드시 설치하세요. 그렇게 하면 많은 문제를 피할 수 있습니다.