LPCVD 용광로 가열 요소

생산 현장에서는, 순조로운 공정도 얼마나 빨리 실패로 이어질 수 있는지 알 수 있습니다. LPCVD 용광로의 온도가 0.3°C만 변해도, 원하는 적층 두께를 달성하기 어려워집니다. 가열 요소의 성능이 저하되면 열 균일성이 떨어지고, 도핑 및 증착 과정도 제대로 이루어...