
减少半导体制造过程中的碳排放
如果想要让半导体工厂实现碳中和,仅仅用LED灯泡替换传统灯泡是远远不够的。真正的关键在于如何处理晶圆加工过程中产生的热量。这时,镀金红外线灯就派上用场了。
镀金层的作用
普通的石英灯会向四周散发热量,导致能量浪费。在半导体工厂中,大量热量要么被浪费掉,要么被机器中那些不需要热量的部件吸收掉。
通过在石英表面加上一层薄薄的黄金涂层,就可以改变这一情况。黄金能够将长波辐射反射回灯丝上,而短波红外线则能直接照射到晶圆上。这样一来,热量就能更加集中地传递到晶圆表面。这样既不会浪费时间等待设备升温,也不会意外加热到其他部件。
优点与缺点
这类灯具具有高功率密度,能够快速产生热量。在计算成本时,这无疑是一个优势——因为无需浪费电能来维持设备正常运转。不过,这种高强度的光线也会给石英带来很大压力。如果冷却风扇的性能不足,这些灯管很快就会损坏。因此,需要找到合适的温度与气流平衡点,否则就需要频繁更换灯管。
对工厂的实际好处
使用镀金红外线灯不仅能加快生产速度,还能降低车间的温度。由于废热减少,HVAC系统也不必费力地保持车间低温。这是一举两得的做法。同时,还能降低能源消耗。再配上精确的SCR控制器,就能确保温度稳定,避免出现旧系统中的能量波动问题。