别再加热手套箱的墙壁了
任何使用过半导体手套箱的人都知道其中的麻烦。虽然需要给手套箱内部加热，但又不希望其外壁也变成一个巨大的热源。
如果使用普通的对流式加热器，那么所有的空气都会被加热，这些热量会影响到箱子的各个部位——包括外壳、密封装置以及操作人员的手臂。这样不仅效率低下，还会造成一些问题，比如损坏密封装置，甚至可能烫伤人。
我们找到了更好的方法：定向红外线加热。
为什么红外线加热更有效
可以把它想象成手电筒，而不是普通的空间加热器。红外线以直线形式发射辐射，它不会影响周围的空气，只会作用于目标物体，比如芯片或基材。这样一来，工件会被加热，而手套箱的墙壁则保持凉爽。这是一种更有效的处理高热量密度的方式。
选择合适的设备
我们通常选择短波红外线灯。因为它们能更深入地穿透材料，并且反应速度更快。
在设置这些设备时，角度非常重要。可以通过调整灯光的角度，让热量集中在特定的区域。不过需要注意的一点是功率密度。如果使用的功率过高，而材料无法吸收该波长的能量，那么热量就会四处散逸，最终还是会让箱壁变热。因此，必须确保灯具的输出功率与工件能够吸收的能量相匹配。
需要权衡的代价
显然，这种方法并不能解决所有问题。由于热量是定向传递的，所以工件中间部分会变得非常热，而边缘则相对较冷。如果需要让整个工件都均匀受热，那就需要旋转工件或使用多个灯具。另外，还要小心处理石英灯罩，因为它们很容易损坏。安装时要格外小心。