
为什么碳纤维红外灯能在半导体行业中占据优势
半导体行业面临着巨大的绿色转型压力。从对无铅材料的追求,到对零排放干燥技术的需求,传统的处理方式已经无法满足这些要求了。 因此,人们开始放弃那些效率低下的对流式烤箱和卤素灯。而碳纤维红外灯则因为其高效且无污染的特性而逐渐取代了它们。
其工作原理
可以把这种光源视为嵌入石英管中的高电阻碳丝。它不会只产生热量,而是能发出中长波段的红外光。 这样一来,热量就可以均匀地渗透到光刻胶和粘合剂中,而不会仅仅灼烧表面。这样就能让整个晶圆都得到均匀的加热效果,再也不用担心因短波灯造成的晶圆变形问题了。
节省能源,减少麻烦
如果使用无铅焊料的话,你就知道它对温度要求非常高。如果温度控制不当,就容易导致材料氧化。 而碳纤维灯则能在几秒钟内达到所需的温度。速度极快。这样一来,就不必再使用那些耗能巨大的预热装置了。 此外,它也不会浪费能量来加热空气——它只会加热产品本身。没有燃烧产生的副产品,也没有臭氧气味。这无疑是一种比传统污染性设备更好的替代方案。
存在的不足之处
没有什么是完美的。 由于碳纤维灯的发射面积较大,所以它很擅长消除“热点”现象。不过,它的升温速度还是不如短波石英灯那么快。 如果你的工艺需要快速固化的话,那碳纤维灯可能会显得有些慢。你需要调整传送带的速度,以适应碳丝的发热特性。 我们专门为洁净室设计出了这种灯具。石英材料具有化学惰性,因此不必担心会有气体释放或污染晶圆的问题。只要再配上稳定的PID控制器来控制温度,那就完美了。