为何真空红外固化技术是实现无铅标准的关键
在半导体行业，人们终于开始认真对待环保问题。目前，人们正在大力推动无铅干燥技术的应用，而实际上，与真空环境相容的红外加热器才是最佳解决方案。
想想看，传统的对流式烤箱只是通过空气来传递热量而已。而红外加热器则不同——它利用电磁辐射来传递能量。无需使用化学溶剂，也无需强风，只需纯粹的热量即可。这样就能轻松达成环保目标。
其工作原理
在真空中，对流作用根本无法发挥作用。因为没有空气，自然也就无法传递热量。因此，我们才使用短波或中波红外灯。这类灯具不会干扰环境中的气体，而是直接穿透材料，将能量转化为热量。这样一来，就不必担心空气中的灰尘或颗粒物会影响到晶圆的质量了。
而且，这种方法的效率非常高。无需为加热整个腔体而浪费时间，只需直接加热需要处理的部件即可。
挑战与解决方案
当然，这并非那么简单。我们必须确保这些灯具能够承受真空环境中的各种压力。我们会使用高纯度的石英外壳，这样才能避免气体泄漏，因为在洁净室里，气体泄漏是个大问题。此外，我们还会追求更高的功率密度，这样就能减少设备所占用的空间。
不过，需要注意的是，高功率密度的红外灯会产生强烈的局部热量。如果冷却系统不够完善，就可能导致晶圆变形或灯具损坏。因此，需要在加快固化速度和有效控制热量之间找到平衡点。
实际应用
这种技术非常适合用于无铅焊料固化以及特殊涂层的处理。由于不需要燃烧燃料或使用会产生有害气体的溶剂，因此可以实现“零排放”的目标。它完全可以替代那些耗能高的传统加热装置。只需将其接入电路，选择合适的波长，就能大大降低每块晶圆的能耗。这无疑是一种更高效的加工方式。