用于晶圆处理工具的红外灯插座

在制造现场，情况很容易出现变化。如果烘烤温度有半度的偏差，那么光阻层的特性就会不符合标准，生产线就会停止运转。因此，我们设计了这种红外灯座，以确保温度能够稳定控制，无论生产多少批产品都是如此。 关键在于其内部结构 该灯座将短波红外发射器与石英卤素灯以及低气体释放率的陶瓷体相结合。这样，无论是低温烘...