晶圆固化灯用反射器

应对晶圆固化过程中灯具故障的问题 在高速运行的生产线上，红外灯实际上处于极限工作状态。这种环境带来的压力非常大。而当灯具最终发生故障——或者更糟糕的是爆炸时，停机时间只是问题的一部分而已。 真正的噩梦其实是污染问题。想象一下，玻璃碎片或钨丝掉落到晶圆上会怎样？一个损坏的灯具就能在几秒钟内毁掉整批产...