普通的对流式烤箱，其实只不过是装满热空气的巨大容器而已。在半导体洁净室里，这种设计简直就是一场灾难。为什么呢？因为热量不会停滞不前，它会渗透到设备的墙壁中，导致设备外壳变得非常烫，甚至可能伤害人体。同时，这也使得HVAC系统不得不费力地工作，才能保持室内适宜的温度。
更好的散热方式 我们采用不同的方法来散发热量。我们不是通过加热空气来散热，而是使用短波红外线灯。可以把它想象成手电筒——热量会沿着直线传播，直接照射到工件上。这样一来，能量就能准确到达需要加热的地方。由于热量不会在房间里四处扩散，因此设备的外壳也就不会变成一个巨大的散热器。
难点所在 不过，要达到我们所期望的加热速度，就需要使用高功率的石英元件。虽然这样能快速产生热量，但这类元件的使用也有一些难题。必须精确控制灯具之间的距离：如果距离太近，就会烧坏工件；而距离太远，则会导致加热精度下降，热量又会泄露到设备外部。这确实需要精心调整。
为何这很重要 最棒的一点并不是热量本身，而是它所带来的好处——因为不需要强制让大量空气在房间里流动，所以就不需要使用大型鼓风机了。这样一来，振动和悬浮在空气中的颗粒物都会减少。在洁净室里，这无疑是个巨大的优势。此外，操作人员也可以直接接触设备，而不用担心被烫伤。
关于安装的提示 在接线时，千万不要只是简单地将设备接通电源，然后等待结果。我们建议使用SCR功率控制器。它能起到缓冲作用，防止在电压波动时灯丝烧毁，同时还能帮助你精确控制温度。
最后一点：如果你打算用红外线灯替换旧的对流式加热元件，那么首先要检查一下电源容量。因为红外线灯会同时向电网输送大量电流，所以其初始负载要比那些需要缓慢加热的元件大得多。