Op de productieafdeling maken bio-sensorwafers het nodig om de thermische controle strikt in de gaten te houden – want de fotoresistent kan geen afwijkingen tolereren. Naarmate de belangrijke dimensies steeds kleiner worden, heeft zelfs een kleine afwijking van een paar graden tot gevolg dat de gewenste specificaties niet meer worden nageleefd, waardoor er veel materiaal verloren gaat. Infraroodlampen die zijn ontworpen voor gebruik in halfgeleiderproductie, helpen dit probleem op te lossen.
Wat er echt toe doet De infraroodlampen die we gebruiken bij de fabricage van bio-sensors zenden kortegolflengte-infraroodstralen uit, zodat er snel en gericht wordt gehecht zonder dat er sprake is van overdreven opwarming. Hierdoor blijft de temperatuur op het oppervlak van de wafer binnen een bereik van ±0,1°C. De fotoresistent krijgt zo een constante hoeveelheid energie toegediend, waardoor de gewenste parameters behouden blijven. Het systeem is geschikt voor gebruik in zuiverruimtes van klasse 1–100, en het produceert geen deeltjes tijdens het gebruik. U kunt rekenen op 24/7 betrouwbaarheid, zonder onverwachte stilstanden. Dankzij het thermische ontwerp blijven de kamers en de omringende apparaten thermisch geïsoleerd.
Waarom dit systeem geschikt is voor deze processen Bio-sensorwafers bevatten dunne lagen en fijne metalen draden. Als de opwarming niet gelijkmatig is, leidt dit tot problemen. Een constante opwarmingstemperatuur verbetert de hechting van de fotoresistent, vermindert defecten en zorgt voor een betere distributie van de belangrijke dimensies. Hierdoor wordt er meer materiaal gebruikt en minder materiaal moet worden herwerkt. Bovendien wordt er minder energie verbruikt, omdat de lamp alleen het gewenste gebied opwarmt, in plaats van de hele plaat. De cyclustijden worden ook korter door de snellere opwarming. Hierdoor wordt er consistente prestatie behaald, ongeacht de schiftingen in tijd, loten of machines.
Wat u moet doen om het goed te laten werken Voor een goede installatie moet de lamp op de juiste plek worden geplaatst en moet het infraroodstraalpatroon worden afgestemd op het oppervlak van de wafer. Er kunnen nog steeds afwijkingen zijn als de apparatuur niet perfect is afgesteld. Voer eerst een korte test uit om het patroon af te stellen en de temperatuurverdeling te controleren. De lamp werkt het beste op ondergronden met voorspelbare absorptie. Zeer reflecterende of transparante lagen vereisen mogelijk een kleine aanpassing van het patroon. Nadat de lamp is gekalibreerd, heeft ze minimale onderhoudskosten en blijft de output stabiel gedurende meer dan 5.000 uur.