Precisie infraroodsensor voor wafers
Inleiding
Stel je voor: een lijn voor het verwerken van siliciumchips, waar de lucht vol zit met brandbare reinigingschemicaliën. Het is een omgeving...
Hogeprecisietemperatuurregelaar
Op de afdeling voor lithografie leer je al snel dat een verschil van 1°C tijdens het verwarmen van de fotoresist niet alleen tot afwijkingen in het...