Buiten de productielijn kan de dunne filmsolaire cel geen enkele thermische afwijking tolereren. Zelfs een verschil van één graad kan leiden tot restanten van fotorezyst, vervuiling en een lagere opbrengst. Er is dus behoefte aan hitte die precies op de gewenste plek terechtkomt en daar blijft, cyclus na cyclus.
Infraroodprecisie: controle over het thermische veld op submillimeterniveau
We hebben deze drooglamp ontworpen met behulp van NIR-lichtbronnen die worden gebruikt voor snel en gericht verwarmen. Hierdoor wordt er een uniform thermisch veld gecreëerd over het substraat, waarbij de temperatuur op het niveau van het wafer rond de ±0,1°C blijft. De herhaalbaarheid is ingebouwd in het besturingssysteem, zodat elke behandeling consequent is – geen hete plekken of koude randen. De lamp is compatibel met cleanroomomgevingen van klasse 1–100. Bovendien wordt er geen vuil geproduceerd, waardoor het aantal deeltjes constant blijft, zelfs bij langdurig gebruik.
Waarom het werkt bij de productie van dunne filmsolaire cellen
Dunne filmsolaire cellen vereisen nauwkeurige temperaturen en schone interfaces. Deze lamp zorgt voor de benodigde herhaalbaarheid voor een consistente fotorezystbehandeling – van zachte tot harde behandelingen – zonder dat er ongewenste effecten optreden. Het snelle, directe verwarmen verkort de tijd die nodig is voor de behandeling, verlaagt de energieverbruik en houdt het proces stabiel. De lampen kunnen meer dan 5.000 uur draaien met minder dan 5% daling in prestaties. Dit maakt het mogelijk om 24/7 te produceren, met minder lampwisselingen en minder onverwachte stilstandstijden.
Installatie en bedieningsinstructies
Deze drooglamp past gemakkelijk in bestaande installaties. Echter, het lichtpad moet nauwkeurig worden afgesteld om de vereiste uniformiteit te behouden. U moet eerst een kort instellingsproces uitvoeren om de juiste instellingen voor uw substraatstack vast te stellen. Het gebruik in omgevingen met lage luchtvochtigheid bevordert de lange termijnstabiliteit. Als u verschillende substraten gebruikt met zeer verschillende absorptiewaarden, moet de instellingen opnieuw worden aangepast om de vereiste temperaturen te behouden.