웨이퍼 처리 장비용 온도 센서
왜 금 코팅된 반사체가 웨이퍼에 있어서 그토록 중요한지 반도체 제조 과정에서 열 손실은 큰 문제입니다. 열 손실로 인해 생산 효율이 떨어집니다. 실리콘 웨이퍼의 온도를 정확하게 조절하려 할 때, 적외선 에너지가 장비 내부로 새어 나가는 것을 막는 것이 가장 중요합니다...
고정밀 온도 히터
리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 소프트 베이크할 때 1°C 정도의 온도 변동만으로도 공정이 제대로 진행되지 않는다는 것을 금방 알게 됩니다. 이러한 온도 변동은 회로선의 선폭에 영향을 주어 최종 제품의 품질을 크게 저하시킬 수 있습니다. 또한, 웨이퍼가 완전히...