반도체 히터용 서모커플

왜 금 도금된 반사판이 웨이퍼 가열에 중요한지 웨이퍼를 가열할 때는 사실상 에너지 낭비와의 싸움을 하는 셈입니다. 대부분의 경우, 방출된 열의 상당 부분이 칩 내부의 벽면으로 새어 나갑니다. 이는 에너지의 낭비일 뿐만 아니라, 작업을 더욱 어렵게 만듭니다. 그때 바로...