電気ヒーター
夕方になって、パティオが冷え込んできたり、作業場の寒さが手袋越しに伝わってくると、暖かくなるのを待っている暇はありません。従来のヒーターでは風の影響を受けやすく、結果として震えながら作業を続けることになり、電気代も高くなってしまいます。一方、この電気ブロウヒーターなら、スイッチを入れた瞬間に即座に...
電気ヒーター製造業者
温度が急降下するときには、すぐに暖かさが必要です。5分後ではダメです。私たちの赤外線ヒーターは、速度を最優先に設計されています。広告で見るようなものではなく、しっかりとした工学技術によって、設計から完成品までを迅速に作り上げます。つまり、需要に応じて迅速に対応できるのです。
内部構造が重要な理由...
バルコニー用ヒーター
ギャラリーや美術館では、適切でない温度もまた、冷え込みと同じくらい危険です。強制送風式のシステムはほこりを舞い上げたり、湿度を変化させたりして、繊細な表面に負担をかけます。時間が経つにつれて、これが絵画やキャンバス、木材、紙などにストレスを与え、コレクションの寿命を短くしてしまいます。
技術的に重...
ウェーハ用のIR用コンフォルムコーティング
300mmウエハーの場合、ウエハー全体で0.3℃の温度変動があれば、クリティカルサイズに影響が出ます。一度でも計画外の停止が起きれば、1ヶ月分の熱管理コストが一瞬で無駄になってしまいます。ウエハーのIR対応用コーティングは、単なるオプションではありません。これは、何回繰り返してもリソグラフィーやフ...
ベビールーム用ヒーターは安全
ベビールームにおいては、快適さというのは単に温度だけではありません。従来のヒーターは空気を送り出すことで部屋を乾燥させ、ほこりを舞い上げ、場所によっては高温や低温の部分ができてしまいます。そのため、私たちはこのベビールーム用ヒーターを放射熱技術を活用して作りました。これにより、空気を動かすことなく...
半導体ヒーターのサプライヤー
ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際にわずか0.5度程度の温度変動があるだけで、製品の歩留まりが低下してしまいます。ウェーハは厳しい温度制御が求められるため、ヒーターはサイクルごとに安定した熱を供給しなければならず、粒子が発生するリスクも避けなければなりません。
技術的に重要な点 私たちが...
DNS スクリーン ウェーハ乾燥ランプ
リソグラフィーラインにおいては、フォトレジストの加熱処理を単なる「加熱」として扱うことはありません。これは、単純に寸法制御の問題です。ソフトバーンやハードバーン時の温度変化が1℃でもあれば、重要な寸法が変わってしまいます。また、均一でない温度分布は、エッジビードの発生や歩留まりの低下を招く原因とな...
ミニスペースヒーター
パティオでの夜を過ごすには、本を手に、温かいマグカップを握ってゆっくり過ごすのが良いでしょう。しかし、徐々に寒さが忍び寄ってきて、やがて快適だった場所が居心地の悪い場所に変わってしまいます。そんな時こそ、ミニサイズのヒーターが役立ちます。私たちはCE認証を受けた赤外線式のヒーターを開発しました。こ...
バイオセンサーの製造における赤外線ランプ
ファブラインでは、バイオセンサーワーフを扱う際には、熱制御を厳格に行う必要があります。なぜなら、フォトレジストはわずかな温度変動も許容しないからです。重要な寸法がどんどん小さくなるにつれて、数度の誤差でも、ソフトベイクやハードベイクの条件が狂ってしまい、製品の品質が低下し、廃棄処分となってしまいま...
LPCVD炉の加熱素子
製造現場では、うまくいっている工程が一瞬にして失敗に終わってしまうこともあります。LPCVD炉の温度制御において、わずか0.3℃のずれだけで、目標とする薄膜の厚さが基準値から外れてしまいます。加熱要素の性能が低下すると、温度の均一性が失われ、ドーピングや成膜の過程にも影響が出てきます。その結果、リ...
ウェーハ処理用赤外線ランプソケット
製造現場では、物事がどれだけ急速に悪化してしまうかわかります。焼成温度が半度でもずれると、フォトレジストの特性が規格外になってしまいます。そのため、生産ラインは停止してしまいます。私たちは、シフトを重ねても温度管理を安定させるために、赤外線ランプ用のソケットを自社で開発しました。
重要なのは、内部...
キャラバンヒーター
寒い倉庫というのは、単に快適でないだけではありません。動作が鈍くなり、筋肉がこわばり、さらには予算も無駄に消費されてしまいます。 従来のヒーターは空気全体を温めますが、その暖かい空気は床にいる人々のところに届く前に上に昇ってしまいます。一方、赤外線ヒーターは直線的に熱を放つため、必要な場所に直接熱...
ウェーハ乾燥用赤外線ヒーター
リソグラフィ工程において、ウェーハの乾燥やフォトレジストのソフトベイクの際に0.3℃もの温度変動があると、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。このような変動は、最終的に歩留まりの低下につながります。私たちは、このような変動を防ぐために、ウェーハ乾燥用の赤外線ヒーターを開発しました。こ...
薄膜太陽電池乾燥用ランプ
フィルム型太陽電池の製造においては、わずかな温度変動でも許されない。たとえ1度程度の温度偏差があっても、フォトレジストの残留物が残ったり、表面に汚れが付着したりして、歩留まりが悪くなる。そのため、一貫して正確な温度が維持されることが重要であり、サイクルを重ねても同じ状態を保つ必要がある。
赤外線を...
認定赤外線硬化ランプ製造
ファブフロアでは、フォトレジストのベーク工程中に1℃の逸脱がどれほどの影響を及ぼすかを正確に理解しています。ライン幅がズレて大量のスクラップにつながることもあります。そのため、必要な場所と時間に正確に、そして継続して要求通りの温度を供給することが求められます。
内部で重要なポイント
当社は認証済み...