
Mengapa kita menggantikan penggunaan udara panas dengan lampu IR di bilik bersih
Jika anda masih menggunakan kaedah pengudaraan udara panas untuk proses pemanasan bahan semikonduktor, kemungkinan besar anda sedang membuang banyak masa yang berharga. Saya sering melihat hal ini berlaku di kilang-kilang. Itu merupakan cara yang selalu digunakan sebelum ini, tetapi apabila setiap saat sangat penting dalam proses pengeluaran, cara lama ini menjadi tidak efektif.
Masalahnya ialah udara panas bergerak dengan perlahan. Ia bergantung pada proses konveksi, iaitu proses pemindahan haba melalui udara. Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, kemudian barulah udara tersebut dapat memanaskan bahan yang akan diproses. Ini menyebabkan kelewatan yang tidak diinginkan.
Lampu IR pula mengelakkan keperluan untuk menggunakan udara sebagai medium pemindahan haba. Ia menghantar radiasi elektromagnetik terus ke permukaan bahan yang akan diproses. Perbezaannya sangat ketara – dengan lampu IR, suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam beberapa saat sahaja. Sedangkan untuk menggunakan ketuhar udara panas, anda perlu menunggu beberapa minit agar suhu stabil. Dalam proses pengeluaran yang berskala besar, masa menunggu ini merupakan pembaziran masa yang nyata.
Selain itu, lampu IR memberikan haba yang banyak dalam ruang yang kecil. Anda boleh mengarahkan haba tersebut ke kawasan tertentu pada wafer tanpa perlu memanaskan seluruh bilik bersih. Ini membantu mengekalkan suhu yang stabil, sekali gus memudahkan kerja semua orang.
Namun, ia bukanlah penyelesaian yang sempurna. Lampu IR hanya berkesan jika cahayanya dapat mencapai kawasan yang diinginkan. Jika bahan yang diproses mempunyai bentuk yang kompleks atau ada rongga yang dalam, kawasan tertentu akan tetap sejuk. Anda tidak boleh “membawa” radiasi tersebut ke kawasan tertentu seperti yang dilakukan oleh kipas. Anda perlu memastikan lampu tersebut diletakkan di tempat yang tepat agar haba dapat disalurkan secara merata.
Kelebihan utama penggunaan lampu IR ialah ruang yang digunakan menjadi lebih efisien. Anda tidak perlu menggunakan saluran udara yang besar atau penghawa dingin yang bising. Lampu IR boleh diletakkan terus di tempat yang sudah ada. Masa yang diperlukan untuk proses pemanasan juga berkurangan, dan bil elektrik pun menjadi lebih rendah kerana tidak perlu memanaskan udara di dalam bilik. Namun, pastikan sensor yang digunakan sesuai untuk mengukur haba radiasi, bukan haba udara biasa. Jika tidak, suhu yang dihasilkan akan melebihi had yang diinginkan, sehingga bahan yang diproses akan rosak. Dan tiada siapa yang ingin hal itu berlaku.