Berhenti memanaskan peralatan anda (dan mulailah memanaskan wafer tersebut).
Kebanyakan elemen pemanasan biasa sebenarnya agak kacau. Energi panas yang dihasilkan tersebar ke semua arah—360 darjah. Dalam fasiliti pengeluaran semikonduktor, ini merupakan masalah besar.
Apabila tenaga panas tidak disalurkan ke satu arah tertentu, dinding dalaman peralatan yang mahal itu akan menyerap semua tenaga yang terbuang tersebut. Akibatnya, dinding tersebut menjadi sangat panas. Ini bukan sahaja menyusahkan orang-orang yang mengendalikan mesin tersebut, tetapi juga merosakkan stabiliti haba peralatan tersebut.
Inilah cara kami menyelesaikannya.
Kami menggunakan lampu inframerah berarah. Daripada menggunakan tiub kuarsa biasa, kami menggunakan penyerap cahaya dan reflektor khas. Bayangkanlah ia seperti beralih dari mentol lampu biasa ke lampu suluh. Cahaya inframerah akan dialirkan tepat ke arah wafer atau substrat yang ingin dipanaskan.
Oleh kerana pancaran cahaya tersebut terfokus, tenaga panas tidak akan mengenai badan mesin. Tenaga panas akan masuk ke dalam bahan yang diproses, bukan ke bahagian luar mesin. Sangat menyenangkan apabila kita boleh menyentuh dinding mesin tersebut tanpa rasa panas, walaupun mesin tersebut sedang beroperasi pada suhu tinggi.
Cara memasangnya dalam sistem anda
Lampu-lampu ini direka untuk digunakan sebagai pengganti yang mudah. Anda tidak perlu membongkar ruang bersih tersebut atau membina semula sistem penyejukan mesin tersebut. Ia boleh digunakan terus.
Namun, perlu diingat bahawa apabila tenaga inframerah difokuskan ke satu titik, intensiti panasnya akan meningkat. Anda perlu memeriksa semula pengawal PID anda. Jika sensor anda tidak diset dengan betul, suhu mungkin melebihi had yang dibenarkan, sehingga wafer tersebut rosak. Ini merupakan masalah yang mudah diselesaikan, tetapi sangat penting untuk diperhatikan.
Apa yang berubah setelah menggunakan kaedah pemanasan berarah ini?
Dengan menggunakan kaedah pemanasan berarah ini, anda tidak perlu lagi menggunakan kipas penyejuk yang besar atau sistem penyejukan cecair yang rumit. Alat ini memerlukan ruang yang lebih sedikit. Keadaan persekitaran juga akan menjadi lebih stabil. Yang paling penting, para teknisi dapat bergerak di sekitar peralatan tersebut tanpa perlu risau tentang risiko terbakar semasa membuat penyesuaian secara manual. Ini menjadikan tempat kerja lebih selamat dan lebih terkawal.