Di fasiliti Pembuatan bio-sensor, cip sensor biologi memerlukan kawalan suhu yang tepat – kerana bahan photoresist tidak akan bertoleransi terhadap sebarang perubahan suhu yang ketara. Apabila dimensi-kunci produk semakin mengecil, sebarang perbezaan suhu sebanyak beberapa darjah sahaja sudah cukup untuk merosakkan kualiti produk tersebut. Lampu inframerah yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor mampu menangani masalah ini dengan baik.
Apa yang benar-benar penting
Lampu inframerah yang digunakan dalam proses pembuatan bio-sensor menghasilkan sinar inframerah berpanjang gelombang pendek yang memungkinkan pemanasan yang cepat dan tepat di kawasan yang dikehendaki, tanpa menyebabkan suhu melebihi had yang ditetapkan. Ini memastikan suhu pada permukaan wafer tetap seragam, dalam lingkungan ±0.1°C di seluruh kawasan pemanasan. Bahan photoresist juga mendapat tenaga yang konsisten, sehingga proses pemanasan dapat berjalan dengan lancar tanpa variasi yang signifikan. Sistem ini sesuai untuk digunakan dalam persekitaran kelas 1–100, dan tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya semasa beroperasi. Anda boleh bergantung pada sistem ini 24/7 tanpa gangguan, kerana reka bentuk termalnya dapat memastikan bahawa bilik pemprosesan serta alat-alat di sekelilingnya kekal terpisah dari pengaruh suhu luar.
Mengapa ia sesuai untuk proses ini
Cip sensor biologi memerlukan lapisan-lapisan tipis dan jalur logam yang halus, yang sangat sensitif terhadap perubahan suhu. Dengan memastikan suhu pemanasan tetap stabil, daya lekat bahan photoresist akan meningkat, kecacatan dapat dikurangkan, dan distribusi dimensi-kunci produk akan menjadi lebih tepat. Hasilnya adalah peningkatan kadar pengeluaran produk yang berkualiti tinggi, serta pengurangan jumlah produk yang perlu diperbaiki. Selain itu, tenaga juga dapat dijimatkan kerana lampu hanya memanaskan kawasan yang dikehendaki, bukan keseluruhan permukaan wafer. Waktu proses juga dapat dipendekkan disebabkan oleh proses pemanasan yang lebih cepat. Dengan demikian, prestasi sistem ini dapat diulang-ulang pada pelbagai syif, batch, dan mesin.
Apa yang perlu dilakukan untuk memastikan prestasi yang baik
Proses pemasangan melibatkan penyesuaian posisi lampu agar sesuai dengan stesen pemanasan, serta penyesuaian arah sinar inframerah agar tepat mengenai permukaan wafer. Namun, masih ada kemungkinan berlaku perubahan pada keseragaman suhu akibat faktor-faktor tertentu. Lakukan ujian pendek untuk menyesuaikan profil pemanasan dan memastikan suhu yang dihasilkan memenuhi spesifikasi yang ditetapkan. Lampu ini akan berfungsi dengan baik pada substrat yang memiliki sifat penyerapan yang dapat diramalkan; lapisan yang sangat reflektif atau transparan mungkin memerlukan sedikit penyesuaian pada profil pemanasan. Setelah dikalibrasi, lampu ini dapat berfungsi dengan minimum penyelenggaraan, dan memberikan output yang stabil selama lebih dari 5,000 jam.