Di bilik pengeluaran yang canggih ini, anda pasti tahu betapa cepatnya segala sesuatu boleh menjadi tidak terkawal. Perubahan suhu sebanyak setengah darjah sahaja sudah cukup untuk merosakkan kualiti bahan yang digunakan dalam proses penghasilan fotoresist. Proses pengeluaran akan terhenti. Kami telah mereka bentuk soket lampu inframerah khas agar prestasi termal tetap stabil, dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain.
Apa yang penting di bahagian dalaman
Soket ini menggabungkan pemancar inframerah gelombang pendek dengan laluan lampu halogen kuarsa, serta badan seramik yang kurang mengeluarkan gas. Suhu semasa proses pembakaran kekal dalam lingkungan ±0.1°C untuk setiap wafer, manakala ketepatan suhu pula kekal pada ±0.05°C. Bahan-bahan yang digunakan sesuai untuk digunakan dalam ruang bersih kelas 1–100, dan reka bentuknya juga memastikan tiada zarah-zarah berbahaya terhasil semasa proses pengeluaran. Tenaga elektrik disalurkan melalui sambungan yang direka untuk digunakan 24/7, dan profil termalnya tetap stabil dari wafer pertama hingga yang terakhir.
Inilah sebabnya mengapa perkara ini sangat penting dalam proses litografi: langkah pembakaran ini menentukan kawalan dimensi kritikal bahan yang digunakan, serta mengurangkan jumlah kecacatan yang terjadi. Dengan soket ini, suhu akan kekal pada tahap yang ditetapkan, sekali gus memastikan kualiti fotoresist lebih baik. Anda akan mendapat hasil pengeluaran yang lebih konsisten, kurang keperluan untuk membaiki produk, dan kurangan bahan buangan.
Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana lampu dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat, tanpa melebihi batas yang ditetapkan. Dengan itu, masa henti yang tidak dijangka dapat dikurangkan.
Beberapa perkara praktikal perlu diambil kira sebelum menggunakan soket ini. Pemasangannya perlu disesuaikan dengan spesifikasi mekanikal dan antaramuka elektrik alat tersebut. Pastikan panjang lampu, jenis asasnya, dan voltannya sesuai sebelum menggantinya. Soket ini hanya akan berfungsi dengan baik jika digunakan bersama lampu yang sesuai, dan sistem penyejukan serta reflektor alat tersebut juga harus dalam keadaan bersih.
Rancanglah penyelenggaraan pencegahan sebelum lampu tersebut habis digunakan, agar tidak berlaku perubahan suhu yang tidak diinginkan. Simpanlah lampu ganti dalam pembungkusan yang tertutup untuk memastikan ia tetap layak untuk digunakan dalam ruang bersih.