MEMS 웨이퍼를 건조할 때 안전을 유지하는 방법
솔직히 말해서, 고강도 적외선 램프를 가연성 용매와 가까이 두는 것은 재앙을 부르는 행위입니다. 화학적 세정 후에 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 열이 필요하지만, 클린룸에서 화재가 발생하는 것은 절대 원치 않습니다.
그래서 우리는 단순히 램프를 만드는 것이 아니라, 그 위험한 증기들이 램프의 작동 부품에 닿지 않도록 특별한 보호 장치를 함께 제작합니다.
증기 처리
화학적 세정 과정에서는 공기 중에 용매 증기가 가득하여, 이 증기들이 금방 화재를 일으킬 수 있습니다. 일반적인 램프로는 이러한 상황을 감당할 수 없습니다.
우리는 유리와 금속으로 구성된 특수한 코팅 처리된 쿼츠 소재를 사용합니다. 이는 마치 물리적인 장벽과 같아서 화학물질이 램프 내부로 들어오는 것을 막아줍니다. 게다가, 만약 이 밀봉 장치에 문제가 생기면 램프는 그냥 꺼집니다. 이렇게 하면 클린룸에서 화재가 발생하는 것을 방지할 수 있습니다. 이것이야말로 밤에 편안하게 잠을 잘 수 있는 유일한 방법입니다.
열 관리
우리는 단파 적외선 방출기를 사용합니다. 왜냐하면 열이 웨이퍼 표면에 직접 닿아야 하기 때문입니다. 기계 전체가 오븐처럼 되어버리는 것을 원하지 않습니다.
하지만 이러한 에너지는 매우 강력하기 때문에, 쿨링 팬이 매우 중요합니다. 만약 공기 흐름이 막히면 램프의 내부 부품들이 손상될 수 있습니다. 반드시 팬을 점검해야 합니다.
설치 시 주의사항
산업용 건조 장비는 많이 진동합니다. 그래서 우리는 튼튼한 연결 부품을 사용합니다. 이는 토스터기에 사용되는 연결 부품과는 달리 매우 튼튼한 것입니다. 한 번 설치해두면 별도의 관리가 필요 없습니다.
램프를 교체할 때는 반드시 하우징의 밀봉 상태를 확인해야 합니다. 만약 금이 가 있다면 화학물질이 유입되어 배선의 절연체가 서서히 손상될 수 있습니다. 이는 장비에 치명적인 손상을 줄 수 있습니다.
저는 500시간마다 한 번씩 밀봉 상태를 확인하는 것을 권장합니다. 몇 분밖에 걸리지 않지만, 예기치 않은 고장을 방지할 수 있습니다.