DNS(스크린) 웨이퍼 건조기용 램프

리소그래피 라인에서는 포토레지스트를 가열하는 과정을 단순한 ‘가열’로 여기지 않습니다. 이는 사실상 치수 제어에 해당합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 생기면, 제품의 중요한 치수들이 변하게 됩니다. 또한, 균일하지 않은 온도 분포...