왜 금 코팅된 반사체가 웨이퍼에 있어서 그토록 중요한지 반도체 제조 과정에서 열 손실은 큰 문제입니다. 열 손실로 인해 생산 효율이 떨어집니다. 실리콘 웨이퍼의 온도를 정확하게 조절하려 할 때, 적외선 에너지가 장비 내부로 새어 나가는 것을 막는 것이 가장 중요합니다. 그건 단순히 낭비되는 에너지일 뿐입니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 금 코팅된 반사체를 사용합니다. 이 반사체는 에너지를 다시 원래 있어야 할 곳, 즉 기판 위로 보내줍니다.
금의 장점 아마도 여러분도 일반적인 알루미늄 반사체를 사용해본 적이 있을 것입니다. 그것도 괜찮지만, 시간이 지나면마모되고 적외선을 효과적으로 반사하지 못합니다. 우리는 순도가 높은 금을 사용합니다. 금은 적외선의 최대 98%를 반사할 수 있습니다. 이건 단순히 장비를 더 멋지게 만들기 위한 것이 아니라, 가열 요소가 내는 모든 에너지가 웨이퍼에 도달하도록 하기 위함입니다.
열을 원하는 곳에 전달하기 목표는 적외선을 좁은 초점으로 모으는 것입니다. 웨이퍼가 위치한 곳에 고밀도의 열이 집중되어야 합니다. 그 결과, 웨이퍼의 온도 상승 속도가 빨라지고, 웨이퍼 표면의 온도 균일성도 훨씬 개선됩니다. 하지만 단점도 있습니다. 열을 이렇게 집중시키면 램프의 전극에 부담이 가합니다. 따라서 쿨링 시스템이 제대로 작동해야 하며, 그렇지 않으면 반사된 열로 인해 램프가 손상될 수 있습니다.
실제 환경에서의 적용 이러한 장치들은 복잡한 구조를 가진 것이 아닙니다. 기존 장치를 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 우리는 기하학적 형태에 많은 신경을 씁니다. 왜냐하면 그것이 웨이퍼 가장자리의 ‘추위’를 없애는 방법이기 때문입니다. 만약 온도 분포가 고르지 않다면, 그건 반사체의 형태가 문제일 가능성이 높습니다. 금 코팅된 반사체를 사용하면 목표 온도에 도달하기 위해 더 높은 전력을 사용할 필요가 없습니다. 이는 전력 공급 장치에도 좋으며, 가열 램프의 수명도 더 길어집니다.