機器を加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう。
一般的な加熱要素は、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度全方位に熱が散乱してしまうのです。半導体製造工場では、これは大きな問題です。
熱が一方向に向けられないと、高価な装置の内壁がその無駄なエネルギーを吸収してしまいます。その結果、「高温の壁」ができてしまいます。これは、装置を操作する人々にとっては悪夢のような状況であり、また、装置の熱安定性も失われてしまいます。
**私たちが解決策として採用しているのは、指向性のある赤外線ランプです。**単に石英管に入れておくだけではなく、特殊なコーティングが施された発光体や反射器を使用します。
まるで電球から懐中電灯に切り替えるようなものです。赤外線放射を正確にウェーハや基板に向けるのです。ビームが集中しているため、エネルギーは装置の本体には当たらず、作業対象物にしか届きません。処理中でも装置の壁を触ってみても寒く感じるほどです。
設置方法
これらのランプは、そのまま取り付けることができます。クリーンルームを壊したり、新しく断熱材を設置したりする必要はありません。ただそれだけです。
ただし、注意点があります。このように赤外線エネルギーを集中させると、ターゲット地点の強度が急上昇します。そのため、PIDコントローラーをしっかりチェックする必要があります。センサーの設定が適切でなければ、温度が過剰に上昇し、ウェーハが破損する可能性があります。簡単な修正ですが、非常に重要です。
実際にどのような変化が起こるか
指向性加熱を採用すれば、重たい外部冷却ファンや面倒な液体冷却システムを使わなくて済みます。装置の占有スペースも減ります。また、最も重要なのは、技術者が手動で調整を行う際に、火傷の心配なく自由に動けるようになることです。これにより、作業環境がより安全で、よりコントロールしやすくなります。