ファブを清潔に保つために：加熱に関する真実
クラス100のクリーンルームを運営している方なら、汚染がもたらす深刻な問題をご存知でしょう。わずかなガスの放出や、ヒーターから飛び出す微小な粒子だけで、生産された製品全体が台無しになってしまいます。 問題は、一般的な加熱ランプはこのような状況に対応できないという点です。安価な接着剤やコーティング、または品質の悪いガラスが使われており、高温に耐えられません。高温になると、これらの部品が劣化し、微細な破片が生産ラインに飛び散ってしまいます。これは、いつ起こってもおかしくない危険な状況です。
なぜ高純度の石英を使用するのか
私たちは、IRランプに高純度の融解シリカを使用することで、このような問題を防ぎます。 例えば、ボロシリケートガラスは温度変化に敏感ですが、融解シリカはそうではありません。温度が急激に変化しても、割れたり、粒子が飛び散ったりしません。さらに、金属不純物も除去されているため、半導体ウェーハや光学部品が汚染されることはありません。
ゼロ排出を実現するための設計
熱密度を維持しつつ、サイズを小さくしたいと考えました。そのためには、密封性に細心の注意を払う必要があります。 多くの人は有機系のシール剤を使用しますが、私たちはそれを使いません。代わりに、高温での溶接を行います。なぜかというと、有機系のシール剤は動作温度に達すると揮発性有機化合物を放出してしまうからです。端を溶接することで、外部への漏れを防ぎます。 また、これらのランプは集中した短波長の光を放ちます。そのため、急速に加熱されます。これはHVACシステムにとって有利です。なぜなら、熱負荷を相殺するために、ほとんど努力を必要としないからです。
注意すべき点
ただし、これらのランプは「プラグアンドプレイ」のように、電源を気にせず使えるわけではありません。 高純度の石英は敏感です。電圧が不安定になると、フィラメントに「ホットスポット」ができ、ランプが予想より早く壊れてしまいます。安定した動作を保つためには、精密なPIDコントローラーの使用を強くお勧めします。 そして、どうか、手で触らないでください。皮膚から出る油分がガラスに微細なストレスを与えます。ランプが加熱されると、その部分が破損の原因となります。必ず静電気防止の手袋を使用してください。そうしないと、ランプが実際に壊れる前に交換しなければならなくなります。