MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター

MEMSウェーハを乾燥させる際の安全対策 正直に言って、高強度の赤外線ランプを可燃性の溶剤のすぐそばに置くのは、災害を招く行為です。化学的な洗浄後にMEMSセンサーワェーハを乾燥させるには熱が必要ですが、クリーンルーム内で火災が起きるわけにはいきません。 だからこそ、単にランプを作るだけではなく、...