چرا استفاده از لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا، روش هوشمندانهای برای دستیابی به استانداردهای بدون سرب است؟
در کارخانههای تولید نیمههادی، «تمیزی» فقط یک هدف نیست؛ بلکه همه چیز است. نمیتوانیم اجازه دهیم حتی یک ذره گرد و غبار یا باقیماندههای ناخواسته، ویفرها را خراب کند.
برای مدت طولانی، از فرهای معمولی برای گرم کردن ویفرها استفاده کردهایم. اما باید صادقانه بگوییم که گرم کردن هوا در یک محفظه بزرگ، مانند سعی برای گرم کردن کل خانه فقط برای گرم کردن یک فنجان قهوه است. این روش کند است، انرژی زیادی مصرف میکند، و همچنین همیشه نگران وجود ذرات در جریان هوا هستیم.
به همین دلیل، ما به استفاده از لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا روی آوردیم. در این روش، به جای گرم کردن هوا، خود ویفر گرم میشود.
نحوه عملکرد گرما:
لامپهای UHP از تشعشعات مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنند. در این روش، به جای انتظار برای گرم شدن هوا، فوتونها مستقیماً به سمت ویفر ارسال میشوند. این روش مستقیم و سریع است.
همچنین، از آنجایی که گرما به طور دقیق به سمت ویفر هدایت میشود، نیازی به استفاده از کاتالیزورهای شیمیایی یا موادی که حاوی سرب هستند، نیست. این همان راز واقعی برای دستیابی به استانداردهای بدون سرب است. شما نیازی به استفاده از فلزات سنگین برای ایجاد واکنشهای شیمیایی در دماهای پایین ندارید؛ فقط از انرژی دقیق و خالص استفاده میکنید.
صرفهجویی در انرژی:
روشهای سنتی خشک کردن، زمان زیادی میبرند. شما انرژی زیادی را صرف نگه داشتن هوای گرم در یک محفظه بزرگ میکنید.
لامپهای UHP به سرعت روشن میشوند. میتوانید میزان انرژی مصرفی را مطابق با سرعت خط تولید تنظیم کنید. وقتی خط تولید متوقف میشود، مصرف انرژی نیز متوقف میشود. این روش، روشی بسیار کارآمد برای کار است.
اما باید مراقب باشید؛ انرژی زیادی در فضای کوچکی تولید میشود. بنابراین باید سیستم خنککننده را به درستی تنظیم کنید. اگر جریان هوا مناسب نباشد، لامپها دچار گرمای بیش از حد خواهند شد یا لبههای ویفرها آسیب خواهد دید. کمی تنظیم لازم است، اما وقتی که همه چیز درست شود، این روش بسیار عالی خواهد بود.
مزایای این روش برای سیاره و استانداردهای زیستمحیطی:
وقتی از روشهای خشک کردن مبتنی بر حلالها استفاده نکنید و همچنین هزینه انرژی را کاهش دهید، شرایط شما برای رعایت استانداردهای زیستمحیطی بهتر خواهد شد.
هیچ گونه انتشار گازهای زیانآوری وجود ندارد؛ فقط تشعشعات الکترومغناطیسی در جای مورد نیاز تبدیل به گرما میشوند.
اگر هنوز از آن تونلهای حرارتی قدیمی استفاده میکنید، این روش راه حل مناسبی است. این روش، بدون هیچ مشکلی، در فرآیند تولید جای میگیرد.