متوقف کنید شکستن لولههای کوارتزی را: نگهداری از لولههای کوارتزی در برابر خرابی
در سیستمهای نیمههادی با بار بالا، خرابی لامپهای مادون قرمز یک فاجعه است. مسئله فقط مربوط به زمان توقف کار نیست؛ هرچند آن هم مشکلات زیادی ایجاد میکند. مسئله اصلی، وجود ذرات شیشهای و رشتههای تنگستنی است که روی ویفرها میافتند. با یک بار خرابی، کل محموله شما بیارزش میشود. به همین دلیل است که ما تلاش میکنیم از این «آلودگی ثانویه» در لامپهای مادون قرمز جلوگیری کنیم.
راز سیمکشی
بیشتر مردم به سیمکشی توجه نمیکنند، اما مشکل اینجاست: سیمهای معمولی نمیتوانند حرارت ناشی از لامپ را تحمل کنند؛ آنها ذوب میشوند. ما از سیمهای پوشیده شده با تفلون استفاده میکنیم؛ زیرا این سیمها میتوانند حرارت را تحمل کنند. اگر عایقبندی سیمها خراب شود، اختلاف پتانسیل الکتریکی ایجاد میشود؛ این امر باعث ایجاد نقاط داغ در کوارتز میشود. تحت بار بالا، این نقاط داغ به نقاط فشار تبدیل میشوند؛ و در همین نقاط، لولههای کوارتزی میشکنند.
خیلی ساده است؛ تفلون باعث میشود اتصالات تمیز بمانند و حرارت در جای مناسب خود باقی بماند.
برنامهریزی برای شرایط بد
بسیاری از لولههای کوارتزی به دلیل عدم صحیح بودن اتصال بین رشتههای تنگستنی و پوشش کوارتزی خراب میشوند. این رشتهها با سرعتهای متفاوتی گسترش مییابند؛ یا اتصالات کثیف هستند؛ در نتیجه لولهها میشکنند.
ما این مشکل را با استفاده از پوششهای دقیق حل کردیم؛ این پوششها به کوارتز اجازه میدهند تا بدون فشار بر اتصالات، گسترش یابد.
اما ما همچنین برای شرایط بد نیز برنامهریزی کردهایم؛ در برخی سیستمها، از تورهای محافظتی یا پوششهای حفاظتی استفاده میکنیم. میتوان آن را مانند یک بیمه در نظر گرفت؛ اگر لولهها خراب شوند، این پوششها ذرات شیشهای را جذب میکنند؛ در نتیجه ویفرهای شما تمیز میمانند و نیازی نیست کل روز را صرف تمیز کردن شیشههای موجود در دستگاه کنید.
تعادل بین کارایی و محافظت
همه ما به دنبال تراکم حرارتی بالا هستیم؛ اما استفاده از برق بالا باعث افزایش فشار داخلی گاز هالوژن میشود.
در اینجاست که فنهای خنککننده مهم میشوند؛ اگر جریان هوا ضعیف باشد، انتهای لامپها بیش از حد گرم میشود. در چنین شرایطی، حتی اگر از بهترین سیمهای تفلونی استفاده کنید، آنها نیز خراب خواهند شد.
جریان هوا را ثابت نگه دارید؛ این کار باعث میشود لامپها مدت زمان بیشتری کار کنند و اتاقهای تمیز نیز همچنان تمیز بمانند.