چرا ریفلکتورهای پوشیده شده با طلا برای گرم کردن ویفرها اهمیت دارند؟
وقتی که سعی میکنید ویفرها را گرم کنید، در واقع در حال مبارزه با هدررفت انرژی هستید. در اکثر مواقع، بخش عمدهای از انرژی تابشی، از دیوارههای محفظه خارج میشود. این کار، هدررفت انرژی است و کار شما را دشوارتر میکند.
در اینجاست که ریفلکتورهای پوشیده شده با طلا نقش مهمی ایفا میکنند.
راز، در خاصیت بازتاب نور است.
طلا، در بازتاب نور مادون قرمز بسیار مؤثر است. به جای اینکه انرژی گرما از بین برود، لایه طلا، فوتونها را دوباره به سمت هدف هدایت میکند.
میتوانید آن را به عنوان چیزی شبیه به لنز بزرگنمایی در نظر بگیرید؛ شما انرژی را متمرکز میکنید. نتیجه؟ گرمای یکنواخت در سراسر ویفر، و دیگر نیازی به حدس زدن اینکه آیا لبهها به اندازه مرکز گرم هستند یا خیر.
اما مشکل اینجاست:
چون تمام این انرژی را متمرکز میکنید، شدت گرمای سطح ویفر افزایش مییابد. خبر خوب این است که معمولاً میتوانید با استفاده از توان کمتر، دمای مورد نظر را به دست آورید.
خبر بد این است که سیستم خنککننده شما باید بتواند این وضعیت را تحمل کند. اگر رزوهها یا سیستمهای خنککننده شما کوچک باشند، تمام انرژی بازتابی میتواند در داخل محفظه تجمع کند. اگر مراقب نباشید، ممکن است سیمهای شما آسیب ببینند. قبل از استفاده از این ریفلکتورها، مشخصات سیستم خنککننده خود را بررسی کنید.
نحوه استفاده از آنها در کارگاه شما:
ما این ریفلکتورها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین ریفلکتورهای فعلی شما شوند. نیازی نیست کل سیستم خود را دوباره طراحی کنید.
فقط کافی است از ریفلکتورهای طلا استفاده کنید؛ این کار باعث میشود انرژی هدر نرود. میتوانید ببینید که میزان مصرف انرژی کاهش مییابد، اما سرعت گرم شدن ویفر همچنان در سطح مطلوب باقی میماند.
علاوه بر این، کنترل بهتری بر گرادیان حرارتی خواهید داشت. این بدان معناست که دیگر نیازی نیست نگران نقاط گرم تصادفی باشید که میتوانند یک دسته از ویفرها را خراب کنند. ریفلکتورهای آلومینیومی برای برخی کارها مناسب هستند، اما برای کارهایی که نیاز به دقت بالایی دارند، طلا بهترین گزینه است.