Warum goldbeschichtete Reflektoren für Ihre Siliziumwafers wirklich wichtig sind
In der Welt der Halbleiterverarbeitung ist der Wärmeverlust ein echtes Problem – er verringert die Produktivität. Wenn man versucht, eine präzise Temperaturkontrolle auf der Siliziumwafer zu erreichen, möchte man auf keinen Fall, dass die Infrarotenergie in das Gehäuse des Geräts entweicht. Das wäre nämlich Energieverschwendung.
Wir verwenden goldbeschichtete Reflektoren, um dies zu verhindern. Sie sorgen dafür, dass die Energie wieder dorthin gebracht wird, wo sie hingehört – direkt auf das Substrat.
Das Angebot von Gold
Sie haben wahrscheinlich bereits Standard-Aluminium-Reflektoren verwendet. Die sind zwar in Ordnung, aber sie verschleißen mit der Zeit und sind nicht besonders gut darin, Infrarotlicht zurückzuwerfen.
Wir nutzen hochreines Gold, da es bis zu 98 Prozent der Infrarotstrahlung reflektiert. Es geht dabei nicht darum, das Gerät optisch attraktiver zu gestalten – vielmehr soll sichergestellt werden, dass jede einzelne Wattstunde, die von den Heizelementen abgegeben wird, tatsächlich auf der Wafer ankommt und nicht vom Reflektor absorbiert wird.
Die Wärme genau dorthin bringen
Das Ziel ist es, den Infrarotstrahl in einen schmalen Fokuspunkt zu bündeln. Man möchte eine hocheffektive Wärmezone genau dort haben, wo sich die Wafer befindet.
Das Ergebnis? Die Zeiten für die Erhitzung verkürzen sich. Zudem verbessert sich die Temperaturgleichmäßigkeit auf der gesamten Oberfläche der Wafer erheblich.
Aber es gibt auch einen Haken: Wenn man die Wärme so konzentriert, leiden die Lampenelektroden unter der Belastung. Man muss daher sicherstellen, dass die Kühlsysteme ausreichen, sonst können die Lampenelektroden durch die reflektierte Wärme zerstört werden.
Praktische Umsetzung
Es handelt sich dabei um keine komplizierten Anpassungen. Die Reflektoren sind so konzipiert, dass sie einfach als Ersatz für die vorhandenen Reflektoren eingesetzt werden können.
Wir investieren viel Zeit in die Optimierung der Geometrie der Reflektoren. Warum? Weil dadurch „Kaltstellen“ am Rand der Wafer vermieden werden können. Wenn bei Messungen ungleiche Temperaturprofile festgestellt werden, liegt das Problem meist an der Form des Reflektors.
Durch den Einsatz von Goldreflektoren muss man die Leistung nicht so hoch einstellen, um die gewünschten Temperaturen zu erreichen. Das ist ein Vorteil für die Stromversorgung – außerdem halten die Heillampen länger durch.