Auf der Fertigungshallenbühne kann es sehr schnell zu Problemen kommen – schon eine Abweichung von einem halben Grad in der Backtemperatur führt dazu, dass das Profil des Fotolacks nicht mehr den Vorgaben entspricht. Dadurch muss die Produktion gestoppt werden. Wir haben den Anschluss für die Infrarotlampe so konzipiert, dass das thermische Verhalten stets konstant bleibt – Schicht für Schicht.
Was wirklich wichtig ist:
Der Anschluss kombiniert Kurzwellen-Infrarotstrahler mit einer Quarzhalogenlampe sowie einem keramischen Gehäuse mit geringer Gasemission. Dabei bleiben die Temperaturen auf dem Wafer im Bereich von ±0,1 °C konstant, und die Genauigkeit der Einstellungen liegt bei ±0,05 °C. Die verwendeten Materialien sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Zudem wird beim Betrieb kein Staub freigesetzt. Die Stromversorgung erfolgt über einen Hochleistungsanschluss, der für 24/7-Betrieb ausgelegt ist. Dadurch bleibt das thermische Verhalten von Wafer zu Wafer konstant.
Warum das bei der Lithografie wichtig ist:
Die Backphase bestimmt die Kontrolle der kritischen Dimensionen sowie die Qualität des Fotolacks. Mit diesem Anschluss bleibt die Temperatur genau dort, wo sie sein soll – dadurch bleibt die Qualität des Fotolacks hoch und es entstehen weniger Fehler. Dadurch erhält man eine größere Freiheit bei der Belichtung, weniger Rückarbeiten und weniger Ausschuss.
Der Energieverbrauch sinkt, da die Lampe schnell die gewünschte Temperatur erreicht und diese auch beibehält. Dadurch werden unplanmäßige Stillstände vermieden.
Ein paar praktische Hinweise vor der Inbetriebnahme:
Beim Einbau muss darauf geachtet werden, dass der Anschluss zur Mechanik und Elektrik der Maschine passt. Überprüfen Sie vor dem Austausch unbedingt die Länge der Lampe, den Typ des Sockels sowie die Spannung. Der Anschluss funktioniert nur dann einwandfrei, wenn er mit der richtigen Lampe verbunden wird und die Kühl- sowie Reflektorsysteme der Maschine sauber sind.
Planen Sie außerdem Wartungsarbeiten rechtzeitig ein, um Abweichungen zu vermeiden. Halten Sie Ersatzlampen in versiegelten Verpackungen auf, damit die Anforderungen an die Reinräume weiterhin eingehalten werden können.