Im Bereich der Lithografie lernt man schnell, dass eine Abweichung von 1°C während des Vorheizens des Photoresists nicht nur dazu führt, dass der Prozess gestört wird – sondern auch zu Abweichungen in der Breite der Linien, was dazu führen kann, dass die gesamte Produktion ruiniert wird. Wenn beim Trocknen der Wafer noch eine dünne Schicht aus Oberflächenspannung verbleibt, werden Partikel eingeschlossen – und damit ist die Produktionsqualität dahin. Die thermische Steuerung ist daher keine Nebenfunktion – sie ist ein integraler Bestandteil des Prozesses.
Was technisch wichtig ist:
Unsere Infrarotheizgeräte sorgen dafür, dass die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C konstant bleibt – mit einer Wiederholgenauigkeit von ±0,2°C. Die schnelle Temperaturanpassung verkürzt die Prozesszeit, und die geschlossene Regelung hält die Temperatur stabil, selbst wenn die Tür geöffnet und geschlossen wird. Das design ohne Quarze sorgt dafür, dass es keine Partikelablagerungen gibt – dadurch bleibt die Waferoberfläche sauber und entspricht den Anforderungen der Klasse 1–100. So erhalten Sie 24/7 Zuverlässigkeit ohne unplanmäßige Ausfälle – unterstützt durch eine MTBF-Zeit von über 10.000 Stunden.
Warum das in der Fabrik funktioniert:
Beim Trocknen der Wafer dringt das Infrarotlicht in die mikroskopischen Strukturen ein und entfernt Lösungsmittel, ohne dabei eine Schicht zu bilden. Dadurch entsteht ein kontaktloser Trocknungsprozess, bei dem weniger Partikel anhaften. Bei der Vorbereitung sowie dem Abschluss des Photoresists führt diese Konstanz und Wiederholgenauigkeit dazu, dass die kritischen Abmessungen besser kontrolliert werden können – außerdem sinkt die Anzahl der Defekte. Zudem wird der Energieverbrauch reduziert: Die schnelle Temperaturanpassung bedeutet weniger Stillstand, was die Betriebskosten pro Batch senkt.
Was Sie planen müssen:
Die Installation erfolgt problemlos auf Standardtrassen – doch die Optik erfordert eine klare Sichtlinie. Reflexoren und Heizelemente müssen bei der ersten Einrichtung genau ausgerichtet werden. Zudem ist eine Kalibrierung erforderlich, wenn die Heizgeräte ausgetauscht werden. Erwarten Sie außerdem eine kurze Anlaufzeit, bevor der Prozess in Betrieb genommen werden kann. Sobald alles kalibriert ist, bleiben die Abweichungen minimal – achten Sie daher darauf, die Anpassung als Teil der Integration mit einzuplanen.