Het veilig houden van MEMS-wafers tijdens het drogen
Laten we eerlijk zijn: het plaatsen van een infraroodlamp met hoge intensiteit vlak naast brandbare oplosstoffen is een recept voor een ramp. Als je MEMS-sensorwafers na een chemische reiniging wilt drogen, heb je warmte nodig – veel warmte zelfs. Maar je wilt natuurlijk geen brand in je reinigingsruimte.
Daarom maken we geen gewone lampen. We bouwen ze met een speciaal soort bescherming, zodat de gevaarlijke dampen niet in contact komen met de onderdelen die elektriciteit gebruiken.
Omgaan met de dampen
In een ruimte waar chemische stoffen worden gebruikt, is de lucht zwaar van de dampen. Deze dampen kunnen gemakkelijk ontvlammen of tot oververhitting leidden. Een gewone lamp heeft geen schijn van kans.
Wij gebruiken gespecialiseerde kwartsomhullingen met glass-to-metal-seals. Denk er maar aan als een soort fysieke muur die voorkomt dat de chemische stoffen in de lamp terechtkomen. En hier is het beste: als deze afsluiting beschadigd raakt, gaat de lamp gewoon uit. Dat is beter dan dat er een brand ontstaat in de ruimte. Het is de enige manier om ’s nachts rustig te slapen.
Het beheersen van de warmte
Wij gebruiken kortegolflengte-infraroodemitters. Waarom? Omdat we willen dat de warmte rechtstreeks op het oppervlak van de wafer terechtkomt. Je wilt immers niet dat het hele apparaat verandert in een oven.
Maar vergeet niet dat deze vorm van energie zeer intens is. Dat betekent dat je koelventilatoren belangrijk zijn. Als de luchtcirculatie wordt geblokkeerd, zal de lamp eerder kapotgaan dan verwacht. Controleer je ventilatoren dus regelmatig.
De details rondom de installatie
Industriële droogstations trillen veel. Daarom gebruiken we versterkte verbindingen. Dit zijn geen zwakke stekkers zoals die je op een broodrooster vindt; dit zijn sterke verbindingen. Je hoeft ze maar één keer te installeren en daarna hoef je je er geen zorgen meer over te maken.
Als het tijd is om een lamp te vervangen, controleer dan zeker de afsluiting van de behuizing. Als er scheuren zijn, kunnen chemische stoffen binnendringen en langzaam de isolatie van de kabels beschadigen. Dat kan ernstige gevolgen hebben voor je apparatuur.
Ik raad aan om elke 500 uur gebruik een snelle controle van de afsluiting uit te voeren. Het duurt maar een paar minuten, maar het beschermt je tegen onverwachte stilstand van de apparatuur.