Omgaan met lampfouten bij het drogen van wafers Wanneer je een productielijn met hoge belasting gebruikt, duw je de infraroodlampen feitelijk tot hun...

Hoe je IR-verwarming kunt gebruiken zonder je schone ruimte te beschadigen Wanneer je werkt in een omgeving van klasse 100, is hitte een groot...

Op de productievloer kan een drift van 0,1°C tijdens het photoresist bake-proces leiden tot veel afval: de lijnbreedtecontrole verslapt, residuen...