Hentikan proses pemanasan pada kotak peralatan tersebut, sebaliknya panaskan sahaja wafer tersebut.
Jika anda pernah menggunakan pemanas jenis resistif biasa, anda pasti tahu betapa menyakitkannya pengalaman tersebut. Pemanas tersebut akan memancarkan haba ke semua arah, sehingga menyebabkan kekacauan. Tenaga yang sepatutnya digunakan untuk memanaskan wafer malah diserap oleh dinding dalaman kotak peralatan tersebut. Akibatnya, dinding tersebut menjadi sangat panas. Hal ini bukan sahaja merosakkan komponen elektronik yang sensitif, tetapi juga menyusahkan sesiapa yang perlu menyentuh peralatan tersebut. Tiada siapa yang suka mesin yang boleh membakar kulit mereka.
Bagaimana cara pemanasan terarah berfungsi
Kita mengatasi masalah ini dengan menggunakan lampu inframerah gelombang pendek. Ia lebih mirip dengan lampu suluh, bukannya pemanas ruangan. Tenaga dari lampu tersebut bergerak secara lurus. Ia tidak membuang masa untuk memanaskan udara di sekelilingnya, sebaliknya tenaga tersebut ditumpukan terus pada permukaan wafer. Dengan menyesuaikan jarak fokus dan menggunakan penutup reflektif, kita dapat memastikan bahawa haba tersebut disalurkan sepenuhnya ke permukaan wafer. Hasilnya, badan peralatan akan tetap sejuk apabila disentuh.
Kuasa, ketepatan, dan sedikit berhati-hati
Lampu berkuasa tinggi ini sangat efektif. Ia sangat berguna apabila kita perlu meningkatkan suhu dengan cepat semasa proses pemanggangan. Kita biasanya menggunakannya bersama-sama dengan kawalan PID agar suhu tidak melebihi had yang ditetapkan. Namun, kita tidak boleh sekadar meningkatkan kuasa tanpa berhati-hati. Jika terlalu banyak tenaga dimasukkan ke dalam ruang yang sempit tanpa adanya penutup, haba tersebut masih akan memasuki kotak peralatan tersebut. Kami mendapati bahawa penutup yang diperbuat daripada aluminium yang dilapisi emas merupakan pilihan terbaik—ia dapat memantulkan cahaya yang tidak diinginkan kembali ke arah wafer.
Kekurangan sistem pemanasan terarah
Perlu diingat bahawa sistem pemanasan terarah bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ia mempunyai beberapa kelemahan. Intensiti haba akan menurun dengan cepat apabila kita menjauh dari sumber haba tersebut. Jika wafer tidak diletakkan dengan tepat pada posisinya, akan timbul kawasan yang sejuk. Oleh itu, toleransi pada paksi Z perlu dijaga dengan teliti agar suhu dapat kekal sama di seluruh permukaan wafer. Satu lagi perkara penting: lampu-lampu ini sangat panas. Jika kipas penyejuk tidak berfungsi, lampu tersebut boleh rosak dalam masa beberapa minit sahaja. Sila pastikan bahawa sistem pengawalan berfungsi dengan baik, supaya kuasa lampu dapat diputuskan segera apabila aliran udara berkurangan. Ini akan membantu mengelakkan kerugian yang besar.