Mengekalkan keselamatan semasa mengeringkan wafer MEMS
Sejujurnya, meletakkan lampu inframerah berintensiti tinggi bersebelahan dengan bahan pelarut yang mudah terbakar merupakan cara yang berbahaya. Jika anda ingin mengeringkan wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan kimia, anda memerlukan haba yang banyak. Namun, anda tentu tidak mahu berlakunya kebakaran di bilik pembersihan tersebut.
Itulah sebabnya kami tidak sekadar membuat lampu biasa. Kami membina lampu tersebut dengan lapisan pelindung khusus agar wap-wap alkali dapat dihalang daripada mendekati bahagian-bahagian yang berkuasa elektrik.
Menghadapi masalah asap
Dalam bilik pembersihan kimia, udaranya sangat tebal akibat wap pelarut yang banyak. Asap ini boleh menyebabkan kebakaran atau overheating. Lampu biasa tentu tidak akan mampu menahan situasi seperti ini.
Kami menggunakan selubung kuarza khas yang dilengkapi dengan sambungan antara kaca dan logam. Ia berfungsi seperti dinding yang melindungi bahagian dalam lampu daripada bahan kimia. Yang terbaik ialah, jika sambungan tersebut rosak, lampu tersebut akan padam dengan sendirinya. Kami lebih rela lampu tersebut padam daripada berlakunya kebakaran di dalam bilik pembersihan tersebut. Ini merupakan cara untuk memastikan tidur yang nyenyak pada waktu malam.
Menguruskan haba
Kami menggunakan pengeluarkan sinar inframerah berfrekuensi rendah. Mengapa? Kerana kita ingin haba tersebut sampai secara langsung ke permukaan wafer. Anda tentu tidak mahu seluruh struktur mesin menjadi “oven”.
Namun, ingatlah bahawa tenaga yang dihasilkan oleh lampu ini sangat kuat. Ini bermakna kipas penyejuk sangat penting. Jika aliran udara terhalang, komponen lampu akan rosak lebih cepat daripada yang sepatutnya. Pastikan kipas penyejuk berfungsi dengan baik.
Butiran pemasangan
Laluan pengeringan industri sering bergetar. Oleh itu, kami menggunakan sambungan yang kukuh. Sambungan ini bukanlah sambungan biasa seperti yang digunakan pada pemanggang roti. Ia merupakan sambungan yang tahan lama. Setelah disambungkan, anda tidak perlu risau lagi tentangnya.
Apabila tiba masa untuk menukar lampu, pastikan sambungan lampu tersebut masih selamat. Jika ada retakan, bahan kimia akan meresap masuk dan merosakkan lapisan isolasi kabel. Ini merupakan cara yang senyap untuk merosakkan peralatan anda.
Saya cadangkan untuk memeriksa sambungan lampu setiap 500 jam operasi. Ia hanya memerlukan beberapa minit, tetapi ia dapat mengelakkan masalah yang tidak dijangka.