ציפוי קונפורמלי לזכוכיות אינפרא אדום

בקו באורך 300 ממ, שינוי של 0.3°C בטמפרטורה על פני הוואפר עלול לגרום לשינויים בממדים החשובים של הוואפר. הפסקה בתהליך ללא תכנון עלולה להרוס את התקציב...