שמירה על סביבה נקייה ברמת Class 100 כאשר אתם עובדים בסביבה מסוג Class 100, החימום הופך לבעיה לא קטנה. לא מדובר רק בשליטה בטמפרטורה – מדובר גם בחומרים...

בקו הליתוגרפיה, אנו איננו רואים בתהליך החימום של הפוטורזיסט כ”רק חימום”. זו למעשה בקרה על הממדים – דבר פשוט אך חיוני. שינוי של 1 מעלה צלזיוס בתהליך...