在干燥MEMS晶圆时，如何确保安全？
说实话，将高强度红外灯放置在易燃溶剂旁边，无疑会引发灾难。如果在化学清洗之后对MEMS传感器晶圆进行干燥处理，确实需要大量的热量，但绝不能让清洁室里发生火灾。
因此，我们不会随便制造灯具——我们会为它们配备特殊的保护装置，以防止那些易挥发的蒸汽接触到带电部件。
处理有害气体
在化学清洗过程中，空气中的溶剂蒸汽浓度很高，这些蒸汽很容易引发火花或过热现象。普通的灯具根本无法承受这种环境。
我们使用带有玻璃-金属密封结构的特殊石英外壳来保护灯具内部。这相当于一道物理屏障，能够防止化学物质进入灯具内部。最棒的是，如果密封装置出现故障，灯具只会直接熄灭，而不会引发火灾。我们宁愿让灯泡熄灭，也不愿让设备发生故障。这才是确保夜间安心睡眠的唯一方法。
控制热量
我们选择使用短波红外辐射源。因为这样可以让热量直接作用于晶圆表面。当然，我们不想让整个机器变成一个“烤箱”。
不过，需要注意的是，这种能量非常强烈且集中。因此，冷却风扇的作用就显得非常重要了。如果气流受阻，封装结构就会受到压力，导致管子提前破裂。请务必检查好风扇的工作状况。
安装方面的注意事项
工业用干燥设备会产生大量振动。因此，我们必须使用加固型连接器。这些连接器可不是普通的插头，而是经过特殊设计的耐用接口。一旦连接好后，就无需再担心它们了。
当需要更换灯泡时，一定要检查一下外壳的密封情况。如果有裂缝，化学物质就会渗入，逐渐破坏电路的绝缘层。这对设备来说是一种隐形的杀手。
我建议每500小时就检查一次密封状况。虽然只需几分钟时间，但这能避免设备因意外故障而停机。