Вступ Уявіть собі лінію обробки пластинок, де повітря насичене легкозаймистими хімічними речовинами. Саме такі умови змушують стандартні нагрівальні...

На виробничому приміщенні для літографії швидко розумієш, що навіть незначна зміна температури на 1°C під час процесу обробки фоторезисту може...