На виробничому приміщенні для літографії швидко розумієш, що навіть незначна зміна температури на 1°C під час процесу обробки фоторезисту може призвести до серйозних проблем – це може спричинити відхилення у розмірах ліній, що, у свою чергу, може зруйнувати всю продукцію. А якщо після сушіння пластини на її поверхні залишається навіть тонкий шар рідини, це призводить до утворення частинок, що, у свою чергу, знижує якість продукції. Терморегулювання – це не другорядна функція; це основа всього процесу.
Що має значення з технічної точки зору Наші низькочастотні інфрачервоні нагрівачі забезпечують однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C по всій її поверхні, а точність керування температурою становить ±0,2°C. Швидке нагрівання скорочує час виконання процесу, а система замкнутого контролю забезпечує стабільну температуру навіть під час відкривання та закривання дверей. Конструкція без кварцу запобігає утворенню частинок, тож ви можете зберігати стандарти чистоти класу 1–100. Ви отримуєте надійну роботу 24/7 без будь-яких простоїв, а також даний про середній час безперервної роботи, який перевищує 10 000 годин.
Чому це ефективно на виробництві Під час сушіння пластини інфрачервоне випромінювання проникає в її мікроструктуру та видаляє розчинники без утворення шару рідини на поверхні. Це дозволяє здійснювати сушіння без контакту, що зменшує прилипання частинок. Під час попередньої та завершальної обробки фоторезисту така однорідність та точність керування температурою сприяють кращому контролю за критичними розмірами, зменшують кількість дефектів та витрати на енергію. Швидка реакція на зміни температури також зменшує час простою, що ще більше знижує витрати на одну партію продукції.
Що потрібно врахувати під час планування Встановлення нагрівачів є простим на стандартних рейках, але оптична система має бути налагоджена правильно. Необхідно перевірити налаштування відбивачів та емітерів під час першої налаштування, а також здійснити калібрування під час заміни нагрівачів. Потрібен певний час для стабілізації температури перед початком роботи процесу. Після налаштування відхилення температури будуть мінімальними – просто не забудьте включити витрати на налаштування до загальних витрат на інтеграцію.