На виробничій лінії ви розумієте, наскільки швидко все може піти не так. Навіть незначна зміна температури при обробці на половину градуса може призвести до того, що параметри фоторезисту будуть не в межах допусків. Тоді виробництво зупиняється. Ми створили спеціальний корпус для інфрачервоних ламп, щоб забезпечити стабільність температури під час безлічі циклів обробки.
Що є важливим усередині корпусу
Корпус поєднує короткохвильові інфрачервоні випромінювачі з кварцовою галогенною лампою та керамічним корпусом з низьким рівнем випаровування. Температура під час обробки залишається в межах ±0,1°C на всій поверхні пластини, а точність регулювання температури – ±0,05°C. Матеріали та поверхня корпусу підходять для використання в чистих приміщеннях класу 1–100. Крім того, при кожному циклі обробки не утворюється жодних частинок. Електроенергія подається через спеціальний конектор, розрахований на постійну роботу 24/7. Температурний профіль залишається стабільним від першої до останньої пластини.
Це має велике значення у процесі літографії: етап обробки визначає контроль за критичними розмірами та кількістю дефектів. Завдяки цьому корпусу температура залишається на потрібному рівні, що дозволяє отримувати продукцію високої якості. Це також зменшує кількість необхідних корекцій та відходів.
Витрати енергії зменшуються, оскільки лампа швидко досягає заданої температури та утримує її без перевищень. Коли температурні коливання більше не спричиняють сигналів тривоги, зменшується кількість непланових зупинок виробництва.
Кілька практичних порад перед використанням: під час встановлення необхідно переконатися, що корпус підходить за формою та електричними характеристиками до обладнання. Обов’язково перевірте довжину лампи, тип основи та напругу перед її заміною. Корпус буде функціонувати належним чином лише у разі використання вказаної лампи та при наявності чистих каналів охолодження та відбиття світла в обладнанні.
Необхідно планувати профілактичне обслуговування перед закінченням терміну служби лампи, щоб уникнути змін параметрів обробки. Також слід зберігати запасні лампи в герметичній упаковці, щоб зберегти умови чистого приміщення.